电子束焊对真空系统的要求是什么?
发布时间: 2019-01-07作者：baile100浏览量：
电子束焊对真空系统的要求是什么?
真空系统是对电子枪室和真空工作室抽真空用的。该系统中大多使用两种类型的真空梨。一种是活塞式或叶片式机械泵,也称为低真空泵,它用以将电子枪和工作室从大气压抽到压强为10Pa左右。在低真空焊机、大型真空室或对抽气速度要求较高的设备中,这种机械泵应与双转子真空泵(亦称罗茨泵)配合使用,以提高抽速并使工作 室压强降到1Pa以下。另一种是油扩散泵,用于将电子枪和工作室压强降到10Pa以下。油扩散泵不能直接在大气下使用,必须与低真空泵配合组成高真空抽气机组。设计抽真空程序时应严格按照真空泵和机组的使用要求,否则将造成扩散泵油氧化和真空容器污染,甚至损坏真空设备等。
真空系统是对电子枪室和真空工作室抽真空用的。该系统中大多使用两种类型的真空梨。一种是活塞式或叶片式机械泵,也称为低真空泵,它用以将电子枪和工作室从大气压抽到压强为10Pa左右。在低真空焊机、大型真空室或对抽气速度要求较高的设备中,这种机械泵应与双转子真空泵(亦称罗茨泵)配合使用,以提高抽速并使工作 室压强降到1Pa以下。另一种是油扩散泵,用于将电子枪和工作室压强降到10Pa以下。油扩散泵不能直接在大气下使用,必须与低真空泵配合组成高真空抽气机组。设计抽真空程序时应严格按照真空泵和机组的使用要求,否则将造成扩散泵油氧化和真空容器污染,甚至损坏真空设备等。
为了达到抽真空的要求和保证真空泵的安全工作,应用相应的管道和阀门将真空泵与工作室连接起来,并按一定的程序用人工操作或自动控制完成。整个真空系统可以与真空室装在同一个底座上,用柔性管道将机械泵连接到真空系统上,以减少振动对电子枪和工作室的影响。在真空系统中应设置测量装置以显示真空度,并进行抽真空的程序转换。测量低真空(压强高于10-Pa)时多采用电阻真空计,测量高真空时多采用电离式或磁放电式真空计。
抽真空的速率取决于真空泵的抽速、工件和夹具的结构尺寸、工作室的容积、所要求的真空度及真空系统的漏气速率等因素。一般高真空电子束焊接设备的工作室抽气时间在3-30min,低真空电子束焊接设备抽气时间为5~50s。
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